电子束蒸发电源的蒸发源材料蒸发均匀性控制及蒸发模式优化
电子束蒸发电源为高真空薄膜沉积提供能量来源，其稳定性直接影响蒸发速率及膜层厚度均匀性。蒸发过程中，电子束的能量集中度与扫描轨迹决定了蒸发材料的受热分布，从而影响材料的蒸发行为。为实现高均匀性蒸发，需要电源具备高响应速度、低纹波特性及可编程能量分布控制能力。
优化的电子束蒸发电源采用多级功率调制技术，通过高速PWM驱动实现电子束功率的毫秒级线性调整。内置的束流反馈环路利用霍尔电流传感器监测束流稳定性，并结合热电偶阵列采集坩埚温度分布数据。控制系统通过热模型预测算法，动态调整输出电压与束流偏转角度，实现对蒸发源温度场的均衡化控制。
在蒸发模式优化方面，电源可根据材料特性自动切换“恒能模式”和“脉冲加热模式”。恒能模式适用于高熔点金属，保证连续稳定蒸发；脉冲模式则通过周期性高能脉冲实现低导热材料的高效蒸发，同时降低热应力积累。
电源输出采用数字化反馈调节模块，利用DSP控制器进行实时误差修正，使蒸发功率波动控制在0.1%以内。高压隔离及低噪声输出电路有效减少了束流抖动，提升薄膜厚度一致性。结合实时光学监测系统，电源根据蒸发速率反馈自动修正功率输出，实现精确可控的材料蒸发过程。
