THP2350 直流高压电源

THP2350

泰思曼 THP2350 系列高功率高压电源,具有优于0.1%p-p 的低纹波表现。内部搭载高反应速度单元,实现高精度调节和极低电弧放电电流。因为独特的主回路设计,和电弧放电电流控制方面的出色表现,使得 THP2350 系列高压电源在离子源类等负阻性负载场合下,可以高效、可靠连续运行。因采用空气绝缘设计,在 5U 高度的体积下,大大减轻了重量。

典型应用:刻蚀;镀膜;半导体应用;离子源;加速器;耐压测试;老化测试

 

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产品特点

  • 输出电压 20kV
  • 输出功率 5kW
  • 0.1%峰峰值纹波
  • 快恢复、低电弧放电电流
  • 符合 CE 标准
  • 纳秒级保护响应
  • 安全的互锁功能
  • 可根据用户要求定制

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产品规格

输入

AC380V±10%,50/60Hz,20A。

输出

1kV 至 20kV 等多种最高输出电压可选,最大输出功率 5kW。0 到最高电压连续可调,输出正负单一极性。

前面板状态指示

高压开、高压关,电压电流显示,过压、过流、短路、电弧和过温保护,电源还具有错误代码显示功能。

电压控制

电源内部

电源自带旋转编码器可将输出电压设置在 0 到最高电压之间。

外部模拟控制

外部 0 到 10V 控制信号可将输出从 0 调到最高输出电压。

数字通信控制

可通过 RS-485 通信接口,按标准 Modbus 通信协议可将输出从 0 调到最高电压。

电流控制

电源内部

电源自带旋转编码器可将输出电流设置在 0 到最高电流之间。

外部模拟控制

外部 0 到 10V 控制信号可将输出从 0 调到最大电流。

数字通信控制

可通过 RS-485 通信接口,按标准 Modbus 通讯 协议可将输出从 0 调到最大电流。

电压调整率

相对负载

0.01%(空载到额定负载)。

相对输入

±0.01%(输入电压变化为±10%)。

电流调整率

相对负载

0.01%(空载到额定负载)。

相对输入

±0.01%(输入电压变化为±10%)。

纹波

额定输出条件下,优于 0.1%p-p。

环境温度

工作时

0 到 45℃。

储存时

-20℃到 80℃。

使用环境湿度

10-90%无结露。

温度系数

电压和电流优于 100ppm/℃。

上升时间

<300ms(10ms 定制可选)。

调节分辨率

额定电压 0.02%。

输出精度

<0.2%(重复精度)。

模拟量控制

0-10V(重复精度 0.2%)。

电压/电流分辨率

0.1V/1mA。

远程控制接口

RS-485、RJ45。

稳定度

开机 0.5 小时后每 8 小时小于 0.1%。

外形尺寸

宽 482mm,高 178mm,深 520mm。

重量

22 kg。

高压电缆

金属连接器连接。标准高压电缆长为 2 米。