TMO7032 客户定制高压电源

TMO7032

泰思曼 TMO7032 系列静电卡盘专用高压电源,采用极紧凑式体积设计,可提供±5kV/35mA 精准输出(精度±1%,纹波<100mVp-p),如需更多路输出可参看 TMO7036,此系列电源支持 100nF 内在位电容检测。具备 20ms 快速过零切换能力,集成多重保护功能,支持模拟量/RS485 控制。适用于半导体行业的离子注入和刻蚀等设备中,性能稳定可靠,可 OEM。

典型应用:E-Chuck;静电卡盘;静电吸盘;静电吸附系统

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产品特点

  • +24V DC 输入
  • 2 路独立输出 每路±5kV
  • 单路最大输出电流 35mA
  • 纹波优于 20ppm
  • 20ms 极性切换
  • 平滑过零
  • 模拟量控制/485 控制
  • 100nF 内在位电容检测极紧凑设计

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电话:0411-84754522
邮箱:sales@teslamanhv.com
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产品规格

输入

+24VDC±5%,5A

输入接口

高速背板连接器 125 针

通道数

2 路,每路独立可调

调节范围

每路-5kV~+5kV 连续可调

输出电流

0~35mA 可设定(负载<1μF 时)

电压精度

额定值±1%

纹波

典型<100mVp-p(10nf 下,0~1MHz,平顶纹波)

过零特性

支持

过冲(超调/失调)

典型<2V(10nf 负载时,从-5kV 到+5kV)

输入到输出延时

优于 3ms

转换(升/降)速率

典型 20ms(10nf 负载时,从-5kV 到+5kV)

循环频率

典型 50Hz(10nf 负载时,从-5kV 到+5kV)

输出阻抗

>20kΩ(单路)

电压显示

分辨率= 1V 精度优于±50V

电流显示

分辨率=10μA 精度=实际输出±100μA 偏移的±2%

稳定度

2V/s

输入调整率

在任何负载条件下,10%输入电压变化<0.1%

负载调整率

从零到满负载<1.3%

保护

输入过/欠压、过流保护,输出过压、过流、过温

控制功能

电压调节、电流设定、一键 d-chuck 等

通信 通过 DB25 模拟量控制,也可选择 RS-485 串行接口(其他接口可定制)

控制信号

0 对应-5kV,5V 对应 0kV,10V 对应+5kV(其他形式可定制)

典型负载电容

<10nF(对于其他负载电容,请联系泰思曼)

在位电容检测范围

100nF 以内 (需要选配外置电容电测电路)

温度系数

电压和电流优于 300ppm/℃ 满载时<0.1%p-p,最大输出

尺寸

355 mm x 44.25 mm x 243mm(宽 x 高 x 深)

环境温度

工作时

0˚C 至 45˚C

储存时

-20˚C 至 70˚C

湿度

0 至 85%RH,非冷凝

冷却

自然冷却