TS0708 客户定制高压电源

TS0708

TS0708 专为电子束量测与表面分析设备设计,为电子光学柱及微通道板探测器提供精密供电。系统集成 13 路独立输出:涵盖 7kV 高压透镜源、千伏级双极性偏转源及高稳定性电流源。全通道实现 ppm级超低纹波与毫伏/毫安级精密步进,确保电子束实现纳米级聚焦与偏转。紧凑化机箱集成26针D-SUB控制接口,支持数字化远程调节,是 CD-SEM、电子束复查等高端设备的理想配套电源。

典型应用:CD-SEM(线宽量测扫描电镜);EBI(电子束晶圆缺陷检测设备);电子束复查设备(e-Beam ReviewTool);能量分析仪;高端电子束量测系统;微通道板 MCP

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产品特点

  • 主透镜源:~7000V@2mA
  • 双极性偏转源:±1000V~±4000V
  • 减速场源:-1500V~0V
  • 高精度电流源:0~2A / 25V
  • 纹波噪声:优于 20ppm(0.02-50Hz)
  • 调节精度:电压步进 0.01V,电流步进 0.1mA
  • 稳定性:全通道 ppm 级超低漂移
  • 标准机架式

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产品规格

输入电压

AC220V±10%,50/60Hz。

输出电压

13 路输出,其中 3 路为电流源,剩余 10 路为电压源,具体参数如下表。

功率

峰值和额定功率分别<550W 和 450W。

稳定度

开机 0.5 小时后每 8 小时小于 30ppm。

纹波噪声

见下表

保护功能

过压、过流、短路和过温保护。

温度系数

电压和电流优于 30ppm/℃。

环境温度

工作时

0℃至 60℃。

储存时

-20℃至 80℃。

湿度

≤80%相对湿度,无冷凝;工作时环境湿度≤70%。

冷却

风冷。

外形尺寸

宽 482mm,高 352mm,深 500mm。

重量

总重 34kg。

接口连接器

DB26 接口,RJ45 接口,DB9 接口。

接地方式

机壳共地。

出线方式

线缆出线。

输出连接方式

MHV 线缆

4,SHV 线缆

1,CF35 的线缆

1,两 pin 连接器线缆

1。