TS0718N30-60
泰思曼 TS0718N30-60 是专为离子束刻蚀（IBE）设备设计的高性能集成电源系统，基于 Kaufman 离子源工作原理开发。系统内置 Fila（灯丝）、Arc（弧放电）、Ele-Ext（引出电极）、Ion-Rep（离子反射）、Bias（衬底偏压）、Ele-Rep（电子反射）、Pul1/Pul2（牵引）共 8 路独立高压电源模块，完整覆盖等离子体生成、离子引出加速与工艺精准调控三大功能模块。系统具备 mV 级超低纹波和 0.01%超高稳定性，采用模块化架构，支持多路高压同步输出与快速动态响应，可接受定制。
典型应用：离子束刻蚀机（IBE）；反应离子束刻蚀机（RIBE）；聚焦离子束（FIB）；半导体失效分析；微纳光学
产品资料 返回列表产品特点
- 8 路集成：模块化机架式设计
- DB15 统一通信接口
- 包含灯丝电源（Fila）、弧放电电源（Arc）、引出电源（Ext）、牵引电源（Puller）
- 输出纹波：mV 级超低纹波
- 长期稳定性：0.01%/h（预热 0.5 小时后）
- 外置加速电源（Accel）、 抑制电源（Supp）、偏转电源（Ski）和其他保护装置
