TESC7080 客户定制高压电源

TESC7080

泰思曼 TESC7080 系列静电卡盘专用高压电源,提供±5kV 精准输出(精度±1%,纹波<100mVp-p),漏电流监控保护值 0-40mA 可设置,支持 100nF 内在位电容检测。具备 20ms 快速过零切换能力,集成多重保护功能,支持模拟量/RS485 控制及液晶显示。已应用于半导体离子注入和刻蚀设备中,性能稳定可靠。它的封装设计紧凑轻便,可 OEM。

典型应用:E-Chuck;静电卡盘;静电吸盘;静电吸附系统

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产品特点

  • +24V DC 输入
  • 双极性输出 20ms 极性切换
  • 平滑过零
  • 模拟量控制/485 控制
  • 100nF 内在位电容检测

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邮箱:sales@teslamanhv.com
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产品规格

输入

+24VDC±5%,5A。

通道数

2 路,每路独立可调

调节范围

每路-5kV~+5kV 连续可调

电压精度

额定值±1%

纹波

典型<100mVp-p(10nf 下,0~1MHz,平顶纹波)

过零特性

支持

过冲(超调/失调)

典型<2V(10nf 负载时,从-5kV 到+5kV)

输入到输出延时

优于 3ms

转换(升/降)速率

典型 20ms(10nf 负载时,从-5kV 到+5kV)

循环频率

典型 50Hz(10nf 负载时,从-5kV 到+5kV)

输出阻抗

>20kΩ(单路)

电压显示

分辨率= 1V 精度优于±50V

电流显示

分辨率=10μA 精度=实际输出±100μA 偏移的±2%

稳定度

优于 0.01%

输入调整率

在任何负载条件下,10%输入电压变化<0.1%

负载调整率

从零到满负载<1.3%

保护

输入过/欠压、过流保护,输出过压、过流、过温

前面板控制

液晶显示屏,电压调节、电流设定、一键 d-chuck 等

通信

通过 DB25 模拟量控制,也可选择 RS-485 串行接口(其他接口可定制)

控制信号

0 对应-5kV,5V 对应 0kV,10V 对应+5kV(其他形式可定制)

典型负载电容

<10nF(对于其他负载电容,请联系泰思曼)

在位电容检测范围

100nF 以内

温度系数

电压和电流优于 300ppm/℃ 满载时<0.1%p-p,最大输出

环境温度

工作时

0˚C 至 45˚C

储存时

-20˚C 至 70˚C

湿度

0 至 85%RH,非冷凝

冷却

自然冷却

外形尺寸

宽 241 mm ,高 88 mm ,深 411mm。