浮地.双极性输出.极性可切换 ,中心点监测 ,模拟量控制 ,485 控制 ,以太网控制
模拟电压编程 ,输出功率 10W ,电压和电流监测 ,高稳定性 ,低纹波和噪声 ,紧凑设计 ,可变电流控制 ,高稳...
静电卡盘是一种适用于真空环境或等离子体环境的超洁净晶圆片承载体，它利用静电吸附原理进行超薄晶圆片的平整均匀夹持。该产品广泛应用于 PVD、PECVD、ETCH、EUVL、离子注入等高端半导体制造装备。
