曝光机高压电源能效分级标准

随着半导体行业 “双碳” 目标推进，曝光机高压电源（年耗电量超 1 万度 / 台）的能效成为关键指标，但当前行业缺乏统一分级标准，导致厂商能效标注混乱（如部分厂商仅标注额定负载能效，回避轻载低效问题），用户选型无据可依，造成能源浪费 —— 据统计，低效电源（能效＜85%）比高效电源（能效＞92%）年多耗电 1200 度，行业整体年浪费电能超 1 亿度。
制定能效分级标准需明确 “指标定义、测试方法、等级划分” 三大核心：指标定义层面，采用 “综合能效系数（CEC）” 作为分级依据，涵盖额定负载能效（负载率 100%）、轻载能效（负载率 30%）、待机功耗（负载率 0%）三个维度，权重分别为 50%、30%、20%，避免单一指标导致的 “额定高效、轻载低效” 问题；测试方法层面，参照 IEC 61204-3 标准，在环境温度 25℃±5℃、输入电压 220V±10% 条件下，采用功率分析仪（精度 0.1 级）测量不同负载率下的输入功率与输出功率，计算能效值，待机功耗测试需持续 1 小时，取平均值；等级划分层面，将 CEC 值分为 5 级，1 级为最高效（CEC≥92%，待机功耗≤5W），2 级（CEC 89%-91%，待机功耗≤8W），3 级（CEC 86%-88%，待机功耗≤12W），4 级（CEC 83%-85%，待机功耗≤15W），5 级为准入级（CEC≥80%，待机功耗≤20W），同时规定 2026 年起禁止生产 5 级电源，2028 年起禁止销售 4 级电源。
标准实施后，将推动行业能效提升：一是引导技术研发，厂商需优化拓扑结构（如采用 LLC 谐振拓扑，轻载能效提升 5%）、改进散热设计（减少散热损耗）；二是帮助用户选型，某半导体园区采购 100 台 1 级能效电源，年节电 12 万度，折合电费 9.6 万元；三是规范市场秩序，避免 “能效虚标”，促进行业良性竞争。