技术资源_泰思曼高压电源

高压电源助力光刻机节能改造

随着半导体制造工艺节点不断缩小，光刻机，特别是极紫外（EUV）光刻机，对电能的需求急剧上升，使其成为晶圆厂中的高能耗大户。高压电源系

光刻机电源系统的可靠性是维持半导体产线高综合设备效率（OEE）的生命线。电源系统一旦失效，将导致光刻机停机，带来巨大的经济损失。因此

离子注入机电源的集成化（Integration）发展趋势，是应对现代半导体制造对设备小型化、高密度、高可靠性和数字化控制需求的必然演进。集成

随着全球半导体制造业对能源效率的要求日益提高，高压电源作为离子注入机的主要能耗部件，其节能改造成为提升产线经济效益和绿色制造水平的

离子注入机电源系统的可靠性是半导体制造和材料改性工艺连续运行的关键保障。由于其工作在极高电压、大功率和复杂电磁环境（包括频繁的微弧

高压电源在离子注入工艺中的核心功能是确保束流参数在时间和空间上的高度稳定性，这是实现器件良率和性能一致性的基础。工艺稳定性优化主要

光刻产线的智能升级是半导体制造迈向工业4 0的关键一步，其核心在于实现数据驱动的设备优化、自主决策和实时闭环控制。高压电源作为光刻机

光刻设备作为半导体制造中最复杂、最昂贵的资产，其综合设备效率（OEE）直接决定了生产线的运营成本和产出。在光刻系统复杂的结构中，高压

光刻机的精密控制是实现微纳尺度图案化的基石，而高压电源是这一控制体系中不可或缺的驱动和执行单元。高压电源通过提供高度受控的电能，直