技术资源_泰思曼高压电源

离子注入高压电源智能梯度升压技术：精密制造的新引擎

离子注入技术是半导体制造的核心工艺之一，通过高能离子束对材料表面进行精确掺杂，可调控材料的电学特性（如导电性、抗辐射性）。该工艺的

在半导体制造工艺中，静电卡盘（ESC）通过高压电场吸附晶圆，其高压电源的稳定性直接影响工艺精度。而介质损耗（tanδ）作为评估绝缘

电镜（电子显微镜）的高压电源系统对电压稳定性和纹波系数有着近乎苛刻的要求。传统线性电源或开关电源虽能满足基础需求，但在应对微秒级电

等离子体共振是半导体蚀刻工艺中的常见问题，其本质是射频能量与等离子体负载的阻抗失配引发的驻波效应。这种失配会导致反射功率剧增、等离

准分子激光器（如ArF、KrF）作为深紫外波段的高功率脉冲光源，在光刻、微加工及医疗领域具有不可替代的地位。其性能核心取决于高压电源放电

电子束加工技术（焊接、熔覆、3D打印等）的核心在于电子束能量密度的精确控制，而高压电源的宽幅调节能力是实现这一目标的关键。随着高频逆

摘要随着半导体制造向纳米级精度迈进，曝光机高压电源的数字化改造成为提升光刻质量的核心环节。传统高压电源在稳定性、控制精度与系统兼容

电子束高压电源是电子束熔炼、镀膜、焊接等工业装备的核心部件，其稳定性直接影响工艺质量和设备寿命。随着高压电源向高频化、大功率方向发

曝光机作为半导体制造、PCB光刻等领域的核心设备，其高压电源的可靠性直接影响生产效率和成本。传统高压汞灯电源因寿命短（通常仅800&ndash