技术资源
电子束高压电源智能控制策略:精密焊接的核心引擎
电子束焊接技术凭借其能量密度高、热影响区小、焊缝深宽比大等优势,广泛应用于航空航天、核能装备及精密仪器制造领域。作为电子束焊机的核
静电卡盘高压电源多电极协同供电的技术演进与应用价值
在半导体制造工艺中,静电卡盘(E-Chuck)的吸附稳定性直接影响晶圆加工的精度与良率。随着晶圆尺寸增大(如12英寸及以上)及制程节点进入
亚原子尺度的光:透射电镜高压电源的精密控制革命
在透射电子显微镜(TEM)技术领域,亚原子级成像的实现依赖于高压电源的极致精度。作为电镜的心脏,高压电源为电子枪提供能量,直接影响电
高压电源在蚀刻设备中的工艺参数自整定技术发展
在半导体制造中,等离子体刻蚀的精度直接决定芯片微观结构的成形质量。高压电源作为等离子体的能量来源,其工艺参数的实时自整定能力已成为
准分子激光高压电源光学同步触发技术的应用与突破
准分子激光器(如ArF、KrF等)作为深紫外波段的高功率脉冲光源,在半导体光刻、微纳加工、医疗等领域具有不可替代的地位。其性能核心依赖于
光刻机高压电源的电磁脉冲防护:技术挑战与创新方案
在高端光刻机中,高压电源(通常需稳定输出数千至数万伏直流电压)的稳定性直接决定曝光精度。然而,电磁脉冲(EMP)的瞬态干扰(上升时间
高压电源在曝光机中的效率提升研究
曝光机是半导体制造和精密光刻的核心设备,其成像质量直接依赖于高压电源的稳定性和效率。传统高压电源存在能耗高、热损耗大、体积笨重等问
电子束高压电源纹波抑制技术
在电子束焊接、精密熔炼及真空镀膜等工业领域,高压电源的纹波系数直接决定了工艺质量。纹波(输出电压中的交流脉动成分)会引发电子束轨迹
高压电源小型化在曝光机中的技术路径与应用展望
曝光机作为半导体、平板显示制造的核心设备,其精度直接决定芯片制程与显示面板的分辨率。高压电源作为曝光机的关键子系统,负责驱动光源和